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CREATIVE CHEMICAL ENGINEERING COURSE　12 「超ＬＳＩプロセシング」
	菅原　活郎 福田　宏　共著 化学工学会監修　\1600+税 本書は、超ＬＳＩについて全く知識のない人でもその役割と機能に興味をもって読み進めるよう、わかりやすい図と写真を用いて手にとるようにやさしく解説する． 続いて高純度シリコンの製造、クリーンルームなどを含め超ＬＳＩの製造工程を詳しく解説し、その中で化学工学の技術やスケールアップなどの考え方がどのように関わっているか、またケミカルエンジニアの活躍の場について、将来の展望も含めて触れている．工業化学、化学工業系の学生、初級技術者はもとより、情報科系の学生にとっても役 立つテキスト、参考書である．