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反応工学部会CVD反応分科会
| 反応工学部会CVD反応分科会 |
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| 主催: | ミニシンポジウム 窒化物半導体MOVPEシミュレーションの最先端 |
| 共催: | CVD研究会 |
| 協賛: | 日本結晶成長学会ナノ構造・エピタキシャル成長分科会 |
| 日時: | 9月29日（水）13：00～17：40 |
| 会場: |
東京理科大学理窓会館3階 第1会議室（新宿区神楽坂2-13-1） |
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参加費:
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化学工学会CVD反応分科会会員（2,000円）， 化学工学会会員（4,000円）， 学生（無料）， CVD研究会会員（4,000円）， 日本結晶成長学会会員（4,000円）， 非会員（10,000円） |
| 申込方法: | （1）氏名，（2）勤務先（所属），（3）連絡先E-mail，（4）参加資格（所属学会等）を明記の上， このメールアドレスはスパムボットから保護されています。観覧するにはJavaScriptを有効にして下さい まで。 |
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問合せ先:
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東京大学 杉山正和 （
このメールアドレスはスパムボットから保護されています。観覧するにはJavaScriptを有効にして下さい
） 東京大学 霜垣幸浩 （ このメールアドレスはスパムボットから保護されています。観覧するにはJavaScriptを有効にして下さい ） |
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プログラム:
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12：30 受付開始 13：00～13：40 1. 「MOVPEリアクタモデリングの基礎」 （東京大）杉山正和氏 13：40～14：40 2. 「MOVPEシミュレーションの現状：As, P系結晶への適用事例」 （STR）Roman Talalaev氏 14：40～15：20 3. 「窒化物MOVPE成長とモデル化のキーポイント」 （東京理科大）大川和宏氏 15：20～15：40 Coffee Break 15：40～16：20 4. 「窒化物MOVPEの化学反応モデリング」 （東京理科大）平子 晃氏 16：20～17：00 5. 「窒化物半導体MOVPEシミュレーションにおける反応モデル」 （STR）Roman Talalaev氏 17：00～17：40 パネルディスカッション 詳細はこちらを参照下さい。 |
